我国集成电路制造装备研发取得重大突破 - Chit Chat Room | 一家茶楼 - SiS001! Board

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songsongsong 发表于 2006-9-28 21:37 只看TA 1楼
我国集成电路制造装备研发取得重大突破新华网快讯：国家重大专项“１００纳米高密度等离子体刻蚀机和大角度离子注入机”２８日通过项目验收，标志着我国集成电路制造核心装备研发取得重大突破。
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